f:yck8^�npf�e:r�4�t)n�^70-90 !�4�t�s�r0.3-1mpa�4�t�e��0.5-2s;n�s)n�^160-190 !�;n�s�s�r2-5mpa�;n�s�e��6-15s��c�5u;�d"1���|�c:_�^�fog ޏ�c90�^er�y:_�^e"1000g/cm��s�xջ���50!/60%rh �4\�et�|�c:_�^
n�s�tft-lcd!jww>f:y�e�ss�
5.fogޏ�c(uacfybϑ�~ň tft-lcd !jww 10000 �n�n
n���0rno(u�vyacf�~ň�vtft-lcd!jww�v�vt'`���
6.cogޏ�c(uacfg\
q�vb��y1300 um2/3��g\
q�vzz��12um�g\�[5uzz��10um�!jww>f:yck8^�npf�e:r04�t)n�^70-90 !�4�t�s�r0.5-2mpa�4�t�e��0.5-2s�
7.;n�s)n�^160-190 !�;n�s�s�r3-5mpa�;n�s�e��5-8s��c�5u;�d" 5���|�c:_�^�cogޏ�cjrr:_�^e" 50n/4mm20
368;>cvy[^adrvw}���������������������#$%/6>dgjnwy`knqx��������������������� ! hquirm��ؚrp[pg�e�nnssq.��b/g� 1.hquirm��z��ncqx��ncq��o�h�͑gwrp[ϑ�15n��b8o:_�^�20 mpa��e8o��s�200%�x��90)yuirm�㉇s�60%0
2.hquirm��n!k'`-�ir���t�w>w��(u����pg�e�b8o:_�^�12mpa��e8o��s�100%�x��90)yuirm�㉇s�60%� �b�d:_�^�30n/m186/324104250 &-146=@a^w|�'���������� ؚ�r�]'`���ؚ)nuir�wjs����<\��? �r�])n�^<260!��s�ts)n�^>100!�
�b8o:_�^>70mpa�/_�f!jϑ>2000mpa�
8t4l�s<3%�hdt>130!0 %-./256= �;n�s�c����xؚ�b���ؚ)n�s�r:gl蕧^w�epg�en�nns� )�[�^e"7.6g/cm30
�]\ob�lx�^�8^)nhrc52~56�950!�ehv320-3500
�s�n:_�^�8^)nne"1250mpa�950!�ee"850mpa0
gؚ�]\o)n�^e"950!�n�lϑ�0.28~0.30mm0
ǐ�vϑ�90um0
��x'`�0.02mm��_
y!kpe:n8�105 �0
'ls�x͑�sd"0.07%�kxs�x͑�sd"0.80%0
!#,-.6>?bdklmsw]hijnrstx~�������� iq�c��gblank maskq !1.:\�[�mm ��d"�0.5��]�
2.�s�^�mm ��d"�0.2��]�
3.�w�v�^�mm ��1/1000(500�500)�
4.s^te�^�um ��d"30�
5.�s\�s�% ��d�5�
6.���s�0.1-0.15um�100nm0 #&*,.=>aegilmptuxyz]`p f�}�opiqgri �en'`��ǐ�yn�vؚ�en�[��t��ew��l��erb\��eq_�t>f:y�vf>fag�~0
ؚ)n�95!�500h
ؚ)nؚn�60!�95%rh�500h
�q�p�q�q�-40!�30min �~85!�30min�100cycles0#$')*0578dilnstwxh >f:yb�g(us^fwsb\�t�p }���yb\ g:g���amoeld(upspi �d r���sd"3�m�1%�pr�)n�^325!�5%�pr�)n�^370!��qz5u�s350kv/mm��n5u8^pe3.3��~'`�p�����|pe34ppm/k0
$,14<c �s�t�epg�e ؚ'`���s�t�wiqf[cq�n!j�sb�wpg�e� /1.pg�e:\�[
n\�ndia.100mm��v�_ �*t50�ؚ�^ �mm�
2.pg�e�v�[��[�^��0r99.9%��elt[�
3.pg�evf�|�^\�n300nm�
4.xrdr�g:n�~wc�v�b�nr�g
n tco/ni/fei{cq }�
5.pg�e�p�[�s50-65w/m.k�
6.pg�e�����|pe4.5-5.5*10-6/k�673-1073k ��
7.pg�e�~llx�^�hv �2500�n
n�
8.pg�e�b/_:_�^1500mpa�n
n�
9.pg�e�e�'`5.0mpa.m1/2�n
n�
10.pg�ewq go�}y:g�r�]'`��0 !$-27:afgmqs[cgjoyz}�������������������� ؚ:_�f�_vf�s�tĉ!js6rybwy�b/gňy_�s� 9_'`!jϑ�90gpa�:_smrlx�^�700 kgf/mm2�:_stlx�^�750 kgf/mm2��e�'`e"1.0 mpa�m1/2������|pe70-80�10-7/k�o�s�p [107.6dpa�s]�800!��b\�s�1.58nd��iq�s e"90%����^d"0.17%��s)�^�re"500 mpa��^�rb\�m�^e"100�m�̍=��`�q�180�vx�~e"2m0
#.3@equbcflrv{~��������� ؚ'`��ё^\pg�e �_�~tb_�~�g�v'ls n0�tb�b/gx�s=
1.b_��ht�_�~tb_�/c�[�[�^e"1.8g/cm3�
2.n!k���|�n50nm-500nm�s��
3.�cbg�ss��cq }htgwsr^0& *-0 5up[fm�e(uؚ�zܔ�w�_�~s|�|sopg�e6rysq.��b/g� �[�sܔ�w�|sopg�e�~�^0b_��0�|�^0'l tϑi{'`��ch�v�s�c6ry��| g�~�^�99.5%����~�| g:1^�5�m�'l tϑ�5000ppm��n�_s|�| g�0.1^�1�m�'l tϑ�8000ppm��~s|�| g�0.001^�0.1�m�'l tϑ�10000ppm���no~g�kh�g�rܔ�w�| g�~gň�[�^0.45^�1.0g/cm3�d50�5�m0$).0149@gjknsz`efkpx�������� ؚ'`��tb_^�vf< ё�| g6ry�b/gx�s� 1.�| gtb_�^�90��^�vfs�^�90���| g�|�_r^�|nx�s�c� t'lϑd"600ppm�
2.�| gq��t�x��[�^bse"1.2t��w}��rhcd"1.4 oe�
3.^�vf�| g6rb�v�x�|���x�[�s�e"20� _c�pcv (1 mhz�20mt) �720 mw/cm30
#* .6=ajkn[\_`acmntu ؚ'`���g���d"4.5um ��g'`�5uܔ�{sq.��b/gx�s�s�nns` 1.�b�b:_�^rm(mpa)e"350�
2.�et8o��sa50mme"3.5%�
3.�b'ls�7h�t(w200�c)n�^n�p�p20min
n�sr��
4.ܔ�{usws6ews��^�e"2ns|�
5.�s�^�d"4.5�_s|0$%(/49>benpsvy] ��;r_�~fh�g(uؚ'`��ܔtёpg�e_�s�s�^(ur 1.�kyo�^�rd"50mpa�
2.��;rtmb�fd"1mm�
3.�s�^�0.08-0.5mm�lq�]��2%�
4.h�b��|�|�^rad"0.09�m�
5.�o/_d"0.1mm/m0
*.125:cdgiq
ytpg�e% �|�[�t���|�[�bn!j(uusvfёr�wؚ�zm�wyňm��b/gc 1.ёr�wu���s�30um/h�
2..l tϑ�100ppm�
3.bg(� tϑ� cgq�[�wh�q$r�[��0rvs�~ r�n
n�
4.vfb��st��]�10��
5.!jwq�[}t��n1mm�v�_os�~:n�o�!jwq�[}t�25)y0
"138;befior_a �x�~�~�wؚ'`���~�~�t�v_�s�s�nns�^(uxvz\
�[km��0r�x�~�~5u�r�p�~ir��r�p�r�s�[�^
nno�n100w/m2��~*��e��
nno�n6h��x�~�~5u�xo\=��~ir(�s�^0.2-0.5mm)�(w30mhz ~18ghz���s��v�qo\=�he��e"60db0&(235?amv[ �mt5up[�~�svqzf��c�ir�vpew[sbb_sq.�qq'`�b/g� '1.�g'`�s�b8o�mt5up[�~��e�n�t3�y��~�~g'y�v�_�1.5mm��s�b8o��v�50%��b8o�v
y�s�0.5%�5up[�~5u;��v�b8o�^�s�ss�s<1%�2.�s�b8o�mt5up[�~ꁨrsu�n��y7h:g1�s��nϑ>4s|/\�e�o��t�s>95%�3.zf��c�ir�|�~�1wy��n��r^so)n�s;m�r�r`�hkm���[(u:gm!kpe�5!k�4.3u���sfn)r5y�.�[(u�e�wn)r6y���sh����e5�{�n
n�6r�[onh�q3-4y�0&)04befhyz^`abhlmovw�������������� dy(u�[hqw�rpg�ex�s�s�nnsk 1.rp�bkp0q��eq�2.��y�s`�w�rb�e�ňo��3.�[hq'`�o(u�[hq��(uo�br��s�n��џ��.o(u..�x[�s��kǐz-n�v�[hq'`��bl�4.\o(u�s`�'`��s`�'`n�o4ls^:n0.90�e��s`��^
n\�n0.99�5.�s�w�sb�^�e or0
,-/0?aos[_`b �����s�o �����s�o�b/g
�w>wq�pn(uostnsos�n�e d�\he�se"99.99%�
1��nav�he�se"90%0
ؚ:_no;�1�]xd�\nsosv��t�w�n�esq.��b/gx�s�s�^(u� ;1.�|\�c>e\�n2mg/nm3�
2.tg�s�]d"2000pa�
3.150-220! 1�]xhe�se"80%�220-260! 1�]xhe�se"85%�260-300! 1�]xhe�se"90%�
4.eq�snox(w100^�3000mg/nm�kn���
�s�tl�n2000^�3000mg/nm���c>e��bl200mg/nm��&qs400^�1200mg/nm���c>e��bl50^�100mg/nm��4l�l(w300^�500mg/nm���c>e��bl50mg/m��
5.yal�girostyn�nmt�n!k�}��psbr�q)r(u�o(u�[}t5t^�n
n0)* /34;<=aefmnoswx[]`adeorsw{|��������������������� d��n�_�s)r(u �e���n}lf��r�rą5u`lkp�ld��ns�qu)r(u 1.�xx���~�^e"99.5%�
2.��v6e�se"88%�
3.vq�nё^\cq }�v6e�se"98%0
&* �quŕ�q�pno�x���q�c>e�|�~ɩbsq.��b/gx�sn�^(u� 1.ŕ���q�p�quŕ����203kgce/tpb�
2.ŕё^\;`�v6e�s�98%�
3.�n�q�^#n�#n tŕ2%��req�v���e�s��nё^\'lsir(wؚ)nn'lsb�p#n�
4.�n�q�^l��n'lskx�45mg/m3�ŕ�p�0.5mg/m3�
5.�^x��^4lyt��^x�hq��v6eytu�nkxx���^4lhq萪_�so(u�
6.peϑch��e�x����ϑe"2.1181n(th�qdq��e�x�n'ls�x�q�cϑe"6.2289n(th�qdq0#&'*24loy_&`dk&lmp������ �^�e�m�h{|�~�~�tnm�qunؚf�c�r�^�e�~�~�t�_�s)r(u�s�b_btewy�nn:y��b/g��b/g��0r�ve���hq0! .9hqrwxkmy|}�������������������� �{t�|�~ y���ne��nwzfga���ns^�s�vx�s�s�nns4 %1.�r��'`ch�
a.��y�g�^)y6qlr^_���n0iqo0�p��0iq�pnso0�_q�|�~0p2g�|�~i{mq'y�|�~ۏl�hq�|�~hqt^�r`�nw0ċ0o0os�
b.�nw�~�g/ect^;`9�(u0�q�s
eϑi{5'ych�vr�g�
c.s t�n-q-w�-�p4*np[!j�w�^��^�z�v��y!j�w
nno�n50*n�
d.ybϑs�nwos�r�����yꁨrybϑsۏl�
nt!j�w�vꁨr�nwr�g�v^ۏl��~�g�[�kr�g�
2.'`��ch�
a.�nw�e���xq�w�|�~�vhqt^�r`�nw��|�~!j�w�ezpeϑno�nnn*n ����{�e��\�n1h�
b.ny8h�_���n�z�n�t'`���nw�|�^���e�s/}�� �e"90%;
c.�|�~�~!j�w'`���nw/}��bs^gwop�]d"5%���eg'yop�]d"10%0( dglmtwz{|}~��������������
%(/3 �]n�v:syal�girƌ rn�vkm�|�~o oahv8h�_ch� oahv�]\o)n�^��[)n 400�c� oahv�t�^�e���60s�kmջvocs�y{|�2u��.2u��.nn�.�.2u�.�n2u�. n2u���sm�^�hkm��v�0.01-100ppm�us!kǒɩ.ƌ r�e���1min�ƌ r�qnx�90%0!$' 01346789;<?@kv[\aekn �s�x�lt >\�wx�~t)r(ud 1.͑�p�cۏ6��k�>\�wd��n�~t)r(u�s�cؚ10%�
2.:y�_��6��k�>\�wd��n�~t)r(u�s��0r100%�b_by��_0ؚd��r
\�wd��n�~t)r(ur�e4ls^��^�z�nn�b/g/e�dso�|0-1gj �s�o��y zfga�e�n~�v��sksnkbf�sq.��b/gx�s�
�t�^҉�^�t��^�c6rc�n�f�n��c6r�|�^d"0.1��f�n�g'yl��r��^e"30�/s��s��l�t҉�^�f�n�l�t�o�s҉�^�|�^d"0.1���[�s�[y:wofn�v360��e{k҉a�w���v��[�sg\:\�[7cm�v\�vh�|nxa�w��ǐ�ns^�shq�]�q n�~:wof͑�^�͑�^�|�^�s��5~10cm0 &8=fjx[y �e���n}lf��tzf��qt�}lf� �r�r5u`l 360wh/kg�v`5u`l_�sn�^(u� 1._�sn>k��ϑ�[�^��0r360wh/kg�n
n05u��g'y>e5u���r'y�ni{�n1c0>fw��cgs5u`l;n�r�[hq��ǐ��:r0ǐeq�t�p�{i{%nۂ�[hq�n(ukmջ ��vؚ'`���v`5u`l�n�t�
2.���[�v`5u�(�0s��ck�g0����]zs0ؚ����i{�t���b_b�;n�b/g�z4x�t��n��c�r�v`5u`l�vwckňf��^(u0#%ps 'yw�g4680 ncq�5u`ln(u����l �p4x��)n�^�250!�5u㉲m�c�҉�4���bz:r'`���400g��p6e)�s�5%�150! ��t[���s�35%��ggr�|t'`�2n/m��mb\5u㉲m�n���5%0 %'( 25<@ik �e���n}lf��r�r5u`ls�[\'`���_��hkm��y� b\amamϑkmϑ��v��loϑ�hkm ��0.50ml/min^�10.00ml/min�2.0ml/min^�20.0ml/min�5.0ml/min^�50.0ml/min��ꁨrrbcbr�k�s � ��
b\amamϑ�hkm�|�^�2%f.s.�
��km�n�[�y�0^�70000ml�
�hkmhtg�\�n5r���
�n��ip672��bi{�~��bl0&'01;<efp]^gmnouvw~�������< �q�e5u`llsoibceb\(u�x�~�w�^b\x�s�s�nns� �s�^0.18-0.40mm��w,g�[�^40-200g/m2��l'`�gurley�l �<12 sec�5u�[�s<20 m�cm2��~t�b�b:_�^�md �>20 n/cm0*jt�b�b:_�^�xd �>10 n/cm��~t/_�f!jϑ�md �>3000 mpa0*jt/_�f!jϑ�xd �>1500 mpa�t[���s>70%0
!')04=eghpxz[ckmnw����� "l�q�e5u`l�psbr� 1.vq�x�w�^
n�v5�ё^\����i{ ��~s|���|�v}�ϑ�s�n(w10-60 wt%kn��ؚ�^�s�c�
2.5�ё^\�~s|���|:\�[\�n10 nm�
yt�psbr�kh�b��y'y�n50m2 g-1�
3.5u�psbr�v5usf['`����0r�v�b/gch:n�(�ϑ�k;m'`��ǐ0.2 a mgpt-1�5usf[;m'`b��y
nno�n20 m2 gpt-1��n�t'`����0rb��ǐ�v�qt{|�n�t4ls^�
4.�psbr-n(uϑd"0.125g/kw0$ .9>jm&np&rsvpx(z&|��&��(�&����� 5u:g�|�~ f�}��s�r�o5u�|�~� (wyr�yf����^�v
nǒ(u�s�r�s5u�e_�(w{�f��tl�ۏ-ngw���~�n�r��y�c�o3z�[�v220v.50hz�nam5ub�3z�[�vؚ�s�vam5u�o(u-n��y㉳qf���(wl�v�ǐz-nno�.�w�e9rf�.�s�r:g�w�e�qkp15min�n
n���q�r�s
n���v���|�~����^3kw.`szz�k1%~100%.͑��10hz~100khz�}��r`n�]\o�����^10%~90%���[�}��z�r.�z�q�r`n�]\o��ǐcan;`�~�����e�o�|�~�v�r`�{t�tost0�n��t�y�]�qn
nň��y�v(u5u�bl0$-lmqry^osv~��������
smco��xpg�ef�(uzf��5u:g� �cؚb�v5u:g�vtesoo(uhe�s�\5u:g�b/g�t5up[�b/g�~t�v:g5unsos�e�w�_5u:g�wq g����v�[0w��r�r�w'y0he�sؚhe0����i{yr�p�m�no���4ls^0\o:nsmc5u:g�s�e��gb�_�so(u!j_��kpg)r(u�s�cя100%�'y'yo�ntl�n4ls^�^\�n�v�[?ev{��r�v�_�s�~nm�su\!j_0hk`d
�en�n�m�rn(u�s�r:g/ ����_�s�phe�s42%�v}l�l�s�r:g�n�t�:n�m�rs^�s�n�t�c�o�r�r/ec�/e�dlq�s����}lf��v_�s�vh0
ؚr�s�s�r�g�l�s�r:g~ 1.gؚ����r�s�s�r260bar,���[�r�s�pg\�k�l�no�n175g/kw.h���0r�v�q��hq4ls^0
2.ǒ(u8�q6r�r�b/g����[�p6r�r�r�s
nnon28kw/l0
3.��'ye^�^m�no�s�r:g�l��t�c>e��c>e�n���vmqb�s�n
n�
4.3u��n)r12y��vq-n�sfn)r5y�0
&03flmpefjmqs{| �c6r�|�~% �v�ns��grs^�s�vzf��qt��|�~c 1.8h�_soc:n�v�ns�@b g8h�_��gr�scqhv�n:n�v�ns�
2.o�lx�n�|�~�vos������^�zhq�e�v�|�~�n�n���r�(w�r���s'`��
n��hqyd��tlr0 �c6r�|�~ zf��'ypenc5u`l�v�c�ns^�s; �p1y�c�cmr��f��e��24\�e��h�q�se"80%�
�qnx�se"75%�5u`liryo�[}t��km�
��km��]d"8%, n�o�^ e"95%0 ()-25: }lf��r�r;`b;n�r�`n5up[�c6r�b/g�s�nns� 1.;n�r�c6r�]\o���w��v�25^�400hz�
2.\o�rhv�r`�r
f*j�~.�~�~.�~�~.�s��i{h��~���
8.�p�r:w��a. ��0.1mm�
n���fo
n�sz�ɩ�b. 0.1mmd"� �0.5mm�d"1*n/s|�c. 0.5mmd"��
n�s g���:n�p�r:w��v�v�_ �0
#(/026>@cikloruw\cfgjtuwxz{������������������ ؚ�zňy �hkm��y *�zzňy
ybg�~�g�^�r:w�t�_:w�ؚ�|�^h��_sq.��b/gh 11.ؚ�|�^�v�c5����x�c4y��s5u�|ped33e"1100 pc/n, ؚ:w�s5u�|ped33*e"1800 pm/v�:g5u&�t�|pek33e"0.90��n5u_c�tan�d"1.2%�tr-te"100!�e\̑)n�^tce"200!�t�w}�:wece"7.5 kv/cm��~�gv��t'`��n�'`�n���50mm vfgr��td"3!�
2.�xf[�o�s6e�s!jww�o�r5u�sgؚ800v�g'y�r�s4kw��o�r���s35khz-10mhz���nojv�x1�v/"hz��c6e�x�v50db��s�pe�v64��sibu\ ��
3.�^�r:wkmϑ��]�10mpa�͑
ykmϑ�|�^�0.1mpa�kmϑ�m�^0.5-50mm��[�s��km�[a��v n�~�^�r:w͑�g�s�['`�[ϑh��_�
4.�_:w�kmϑ�_tr���r:n2��t�tr���r3��kmϑ�m�^5-200mm0 &4;chqrz`fkw������������������������#&139;@g
ؚ�|�^҉�^!j�bhvx6r� @1.�e�s!j_��e�}� �҉�^�qnx�^�
�0.003���]\o5u�s�2^�28 �vl-l,���s��v�360^�2000 �hz
�0.003���]\o5u�s�2^�90 �vl-l,���s��v�360^�1000 �hz
�0.015���]\o5u�s�2^�28 �vl-l,���s��v�2^�10 �khz
2.tek!j_��e�}� �҉�^�qnx�^�
�0.005���]\o5u�s�11.8^�90 �vl-l,���s��v�100^�800 �hz
�0.012���]\o5u�s�2^�90 �vl-l,���s��v�47^�100 �hz !#$).1267aghiklqvyz^_iopqsty~����������������������������� ^��c�_ؚ�|�^ n�~b_��n��^kmϑ�no
1.^��c�_ n�~n��^kmϑ�
2.s^b��p }r���s\�n1um�
3.�~tkmϑ�|�^��0rnm�~�
4.&{tg�e�viso 25178h�q��vmr�h�qb�v؏*ghqb�_eq �0
(*,/4= \�ws*yk�yq�e�wiq1��n0 1.��1��[�^�0.1thz-3.5thz�
2.��1�r���s�2ghz�
3.�r`��v�80db0"#& / �nhv�nh� n͑�v�gfg�m�vr�1�(�1�t�(u�n� 11.r���s0.7da�2.(�ϑ��v5-2000da�
3.kb�c��^e"12000da/sec�
4.�yp[�n�r�pl)n�^e"12000da/sec�
5.�yp[�nۏ7ham�5�l/min~3 ml/min�
6.�r`��v�6*npeϑ�~�
7.upoe�^(1pg reserpine)�50w:1�
8.(�ϑ�qnx'`0.3da�9.�hkmp�< 4.0 fg�
10.�\b��y͑
y'`�50fg�t 1pg)r@�s^r rޏ�~ۏ7h10!k�rsd��\b��y �\�n2%0
!-.19efip`adijoru����������������������� 5ua&�ti{�yp[so(�1��nx�s�s�nns� /1.̀ofjv�x<1cps(9amu)�
2.�h�qp��3�,ng/l �bed"0.5 in.bid"0.1�
3.upoe�^(mcps/mg�l-1)�bed"0.5
in.bid"0.1�7li�50�89y�160
205tl�80�
4.0n�^upoe�^im-1/imd"5*10-7
im 1/imd"1*10-7�
5.'lsir�yp[�n�sd"2.0%�
6.�s5uw��yp[�n�sd"3.0%�
7.(�ϑt�3z�['`(amu/8h)�< /-0.< 05�
8.r���s��s� 0.3-1.0amu0 !2369fgwx[\^_bclmopsx������������������� �_�ؚ�|�^�p;�kmջr�g�nsq.��b/gx�s�s�nns� #1.�r�p5uamkmϑ�|�^�1a~75a��|�^�0.5%�0.01a��75a��|�^�0.5%�1a�
2.5u�skmϑ�|�^�-5v~ 5v ��|�^��50uv�
3.�~)nkmϑ�|�^��1�c�r���s0.1!�
4.���q�p;�.�p�[�f�~.�w`�p;��b�zthjc�zthja ��f�~�
5.���q�yr.�_r�~�g�qpe�f�~0!$(/03:bfklovz^acfjkopv{|����� ؚ�z�|�[ňy �m�s-:g�h
yt�s� o�r(hmt)�b/gxvzn�^(u� #1.yram_
g'y��eql���2400 n/min�g'y��eql��w�800nm�g'y��eq�r�s�235kw����ql�������v�0^�2200 n/min����ql��w�����v�0^�780 nm�m�wy�s�r:g��g�l:g0
2.�qram_
g'y��eql���6000 n/min�g'y��eql��w�250nm�g'y��eq�r�s�110kw����ql�������v�0^�5850 n/min����ql��w�����v�0^�370 nm�m�wy�s�r:g�}l�l:g0 %-2<=>hrstzehlmt~������������
r�z_�e�m&l���[�xqq/c�|�~� 1.0�m&lo(uϑ�
2.;n�x:wb0e" 1.0t�
3.r�z_�xso��ݍe"70cm��u�nt[�_e"60cm�
4.45cmtb_:s�w�q�v��\�\
f:yo\o�lx�n��[�srf�q�~�|�~�vo�lx�nɩb0�[�sush�rf�q�~�|�~�;nx�s�&{t�ve�5u�]�yxtoh�qiec61375-nĉ�[�vrf���oq�~��bl0bj
:_�x�s�x(u��tёt�bq �|�^i{�~�p6��x'`��e�x'`�
l���e"20000r/min�lx�^�28/35hrc�
8n���8/15um����[�r�w��e"3300n�
���[y��w��e"1400n0"* ,/5<bcdjp �mwmwm\on��yx�s�s�nns- g'yus�~�v�_�17-350�
g'yur_�~��^180m/min�
�n�ur_:gg'y�b�r35t0
), �^(u�n�_�����rňn�v�neq_t�am�lsq.��b/gx�s�s�nns� 1.�n�w��]�qn�l�vs^gwameqϑ4~5l/min�
2.s^gwam�qϑ4~5l/min��amϑ0.2~0.5l/min�
3.h�q�n@�cpe<0.1g/100l�
4.�|�~ޏ�~�]\o�e��
nno�n7)y�
5.n!k'`�]�_�[�[�{�l(w�n�w�џl��`�qn��lsoh�b�)n�^
n�^��ǐ39!0 (,89<blmp[\^a~� �ll����v�ns� 1.a4vg65�l�ta4vg65l���
2.�b/gch�
�cϑml/r 65����[l��r/min 3800����[�s�rmpa 45�͑ϑkgd"58�o(u)n�^! -43� 125��[�yhe�se"92%�g'y�r�skw 178��r�s�[�^ 3.0690
%* -49chnqv\`aejnsy~� sq.�����n ؚ���pkplso>e5u�{�v�nsx6rn�nnsj
�r`�qz5u�s��v�90~9000v��r`�qz5u�s�|�^��2.5%�3z�[>e5u���s�~50hz�us!k�l>e��ϑ�~35j��[}t�25t^/8000ޘl�\�e0 (-59=?@e �w�n����pg�e�vm�w4��g��[}tؚ�s`�'`sq.��b/gxvz4 1.4��g�]\o)n�^�1050!�
2.4��g�s\5uam�[�^�e"10a/cm2�
3.4��g�[}t�e"2000\�e0
#$',1 zf���[5u zf��a�w�b/g b�tzf���[e\�vy!j`l�:nƌ rn�v�b�|�~x�s�s�nns_ c1.��s_mr;nam�v�s��iq�v�pirso�hkm�e�l�ƌ r�qnx�s�cgs'y�n5%�
2.��s_mr;nam�v�����v�pirso�hkm�e�l��hkm�qnx�s�cgs'y�n5%�
3.��s_mr;nam�vosth�:yf[`n�e�l��in�vsq'`f[`ncknx�s�cgs'y�n5%�
4.��s_mr;nam�vxq�w�vsqr�g�e�l��insqt�'`cknx�s�cgs'y�n5%�
5.�|�~�t�^�e��d"1s�
6.�ckm��v10m�
7.�o5un�r���vam�o5u12v��r�d"2w�
8. n188�]\o���s5.8ghz�75mhz�
9.�s\�r�sd"0.5mw�i$��o�c�snos���rj450rs-232/4850tcp/ip0nb-iot0wlan0zigbee0
lx�n�s�x��^'`��]\o)n�^�0!~40!��px[џ��)n�^�-20!~55!��v�[n�^�40%~90%��px[џ���v�[n�^�20%~95%�40! �02��bi{�~�ip440 #=?@c`bcf�������������������������������
),-07>hoprz^ b�t�u�`2��c�vir�t/�s�x�~r��m@gr^�q�b/gx�s�s�nns
� -1.)n�^�hkm��v-20!-50!��hkmr���sd"0.5!�
2.n�^�hkm��v5..95%rh�
3.ɖɉ�hkmr���sd"10um�
4.d�4l�s�
nno�n99%�
5.d�̃�s�1��q ��
nno�n99.98%�
6.�e�q�u�k�~tmp;m�s�
nno�n99%�kmջ�s�xn ��
7.�'l�yp[ϑ�6000npcs/cm3�
8.���q�'lϑ�
n\�n180ppm�
9.2�4li{�~�ipx1�
10.�s�x�zzl ��m@g��v�
nno�n60m20%-.18=>ahkloz`adqt|���������������� �vam�s��zz�n(u��y���m�ltt�b�szf��s�n�~sq.��b/gx�s�s�nns2 1.jv�befpq������������ ��$v�_�s�x�t�^'`��car-t�~ހ(u�n��z�lv�l�u�vxvz
� 1.[{ �1*ncar-t�~ހ�l�u�vv��p�6ry�qؚyr_'`0@g$o���r:_�vcar-t�~ހ�
2.o �1�y4l�q����[bcar-t�~ހ�vs��v^�o��car-t�~ހ�v;m�r�v^�ǐ�te4l�q���vbr���0rcar-t�~ހ(w��$v�mo�v�s�cʑ>e�
<3._u\4n�^mrջ���s�bsoy�[���t\ ��[so��$v!j�w ��v^�s�_�l�uۏu\�
4.6r�[t��v�nns�ehh�1�ycar-t�~ހ6rbr �0!&),./6;ch\anq������ ;s�uhv�h ��iq1��q�z\�dd�p�|�~x�s�t4n�^�^(u� 1.�p }r���se"3840*2160�
2.b�p'^�se"59hz�
3.}viqɖ���~r���s
nno�n800tvl�
4.�v�p�ojv�ke"47db�
5.dd�p4y�n��ipx72�4l'`���
6.y�t�\�lx�{\�-n�_iqf[r���se"7!�� ��
7.�q�z\�dd�p�|�~iq�n���qiq�ϑe"2000lm0"-347<abejnsvceghjm{� �e�w1470nmjs�[so;s(u�oiq�l�u�nbwy��ysq.��b/gx�s�s�nnsq 1.�oiq�l�:1470nm�
2.�oiq�~�zg'ys^gw���q�r�s�160w�
3.�oiq�]\o!j_�͑
y0ޏ�~0�q�~�
4.�oiq���q�e_�iq�~ o���
5.c:y�oiq��oiq�l�635nm����q�r�sf"5mw�
6.5u�n�0220v,50hz0
"#&69ehqv\_`cfp �h���hkm% �w�n5usf[�ly�y{|�~u }�hkm�n(w4n�^�~u }�hkm-n�v�^(u�s�nns� 1.�hkmy��vhqb���s�hkm�~u }a0b�e0c0d0e0ki{asn�y�ywq g4n�^͑��ain�v�~u }�
2.�hkm�qnx'`ؚ��hkm�vyr_'`}y�upoe�^ؚ��s��0r10-12mol/l ��
3.4n�^�(u'`}y��hkm�_��<90�y �0o(ub,gno0�[�d\o�nxt�eyr�k��bl�
4.7h,gϑ\�usy��hkm�s���10-20�l7h,g�
5.tn�e���hkmy�y�~u }�)�w7h�tmryt�e��0-0gqsvbey|����# afp��$v�e[{ջbr�v(afp/cea/psa/ca125/ca153 �
"'
ʋ�e�qnx�s��ǐ95%0
�hkm�e�l�nek�l��hkm�e���~3\�e�
�hkm7h,g�3ml
$ ;so�-n��so% �[t�s�^uir�psbr6ry�b/g�vxvz_�si uir�ps�b/g�s�^ag�n)n�t0�nirusn0l�s�sؚ��s ghe�cؚ�vh�nir ��b'`��{s�n�tr�y0�c�~ǐz��cؚ�n�t�_�s��q\ n�^�v�c>e��[�sd��n�vؚhe)r(u0 vq�n% 5u% ؚ)n���p2�kpyr�yaj���s0w��(ub1�~-n�s2�kp�s�o5ux�s�s�nns\ e1./_�f�v�_15�d d ��5%�ck�/_�f3!k�(w1.73u0n�e�nuo1u��ջ5u�nu�v��ǐ�x fջ��upoe�^�5pcb�fo ��v�s�hkm0r>e5u�
2.�[5uۏl��s�uop�okp�)n�^'y�n950!�180min��e�r5u�su0�
n�qz�\pbk�okpt1\�e�q�e�r3.5u0ջ��5u�s�15min
n�qz�
3.b1�~�q�p'`��ջ���
kp0q��^fsd"1.5m��pʑ>e��s�\ h�b�yt% }lf�����n�u�m�]z�& n!kytp҉�30��
6.g\4ls^l�/_js�_4m�
7.g\�w�vl�/_js�_8m�
8.џl���^0^�2.15m/s�
9.jv�4ls^d"85dba(ݍ�y;n:g 4m)�
10.>\l�c>e)n�^d"70!�
11.5ul2��bi{�~�
nno�nip54�
12.;n�l�t�m�sl����]\o�[}t�
n\�n6000\�e0
% 6;>adjruwz]efimqru}���������������������������� �p&qdq'`���yf[ċ�nnosm�dq�b/g* �o��jnx3-70-1�w&q�p&q�p(�̑3z�[�v�`�qn�vqt[&qϑ(r^�w)(w31.7t�n
n0 !"' s�]% fsephgea dw320
�g�s͑�w��n��l eiso �|�^i{�~ 320�џ�r�|�^(40!)�mm2/s 324�џ�r�|�^(100!)�mm2/s 36.98��|�^cpe 163�>p�p,! -42�ꕹp,! 280�fva �_�p���1yhei{�~�10�gft �~ r ؚ�fzg .r_c�din51534(mod)a/8.3/90�1yhei{�~�14�fag fe-8 t�bkmջ�stages1-4 �ǐ��vt�x_ckmջ�(1.800rpm�196n�54!�60r��)�mm0.3�2��'`�wm4l �ǐ�4lr�y'`�(82!�40/37/3)�r��10��s�lyr'`��^r11����r/3z�['`�ml/ml 0/00 %)* ,7<@cdeilmnrsw`bcgijlps��������������������������������5�/�
�
��� |%��'y2�;
d����mbp?_* ��%;��7&c&"�n�[_gb2312,8^ĉ"&14- &p -��&9��8���?'9��8���?(--�?)a�`��?�" a�xx�������?ffffff�?�&�u}�
m}� m}n}�o}�gp}�n�|�@x�m8 �m��m��m��m��m|�m��m �m
4�m8 �ml�m
@�m��m��m�m�m��m8�m�m�m��m��mt�m�m��m��mp�m\�m�m �m�
q�qqqq�
r�
r�
r�
s�
r�
t�
t~
u�?�
v�
a �
ww~
u@�
v
�
a�
ww~
u@�
x�
a
�
wy~
u@�
z�
qw�
t~
u@�
x�
r�
yy~
u@�
x�
a�
t�
[~
u@�
x�
a w�
t~
u @�
\�
s�
ww~
u"@�
x�
a�
yy~
u$@�
x�
a�
t�
[~
u&@�
]�
t
y�
[ ~
u(@�
v!�
a"�
t�
t ~
u*@�
v#�
a$�
ww~
u,@�
x%�
a&�
wy~
u.@�
x'�
a(w�
^)~
u0@�
v*�
a �
w_~
u1@�
v,�
a-�
w_~
u2@�
z.�
q/�
w_~
u3@�
x0�
a1�
y`~
u4@�
x2�
a3�
t�
[4~
u5@�
v5�
a6w�
[7~
u6@�
x8�
a9w�
[:~
u7@�
a;�
a<w�
b=~
u8@�
z>�
q?�
yc~
u9@�
x@�
aa�
tb�
tc~
u:@�
vd�
ae�
yy~
u;@�
df�
ug�
eb�
[c~
u<@�
xh�
tif�
[j~
u=@�
xk�
alf�
tm~
u>@�
vn�
to�d2
l ff888b8fb88fbf88b8888fbbb8f8fb 8�m!��m"��m#(�m$��m%��m&<�m'��m($�m)��m*��m �m,h�m-�m.��m/��m0��m1��m2��m3��m4��m5��m6p�m7��m8�m9��m:��m;�m<�m=��m>��m?t�m�
fw~
u?@�
gp�
vq�
!hy~
!u@@�
!xr�
!as�
"tb�
"tt~
"u�@@�
"xu�
"av�
#ww~
#ua@�
#xw�
#ax�
$yy~
$u�a@�
$xy�
$az�
%t[�
%t\~
%ub@�
%v]�
%a^�
&ww~
&u�b@�
&x_�
&a`�
'yy~
'uc@�
'ia�
'wb�
(t[�
(t\~
(u�c@�
(xc�
(ad�
)ww~
)ud@�
)xe�
)af�
*ww~
*u�d@�
*xg�
*ah�
ww~
ue@�
xi�
aj�
,wy~
,u�e@�
,xk�
,al-y�
-[m~
-uf@�
-xn�
-ao�
.j[�
.km~
.u�f@�
.zp�
.qq/l�
/tr~
/ug@�
/vs�
/xt�
0lw~
0u�g@�
0vu�
0av�
1lw~
1uh@�
1iw�
1wx�
2lw~
2u�h@�
2zy�
2qz�
3ly~
3ui@�
3z{�
3q|4l�
4m}~
4u�i@�
4x~�
4a�
5no~
5uj@�
5i��
5w��
6t[�
6m}~
6u�j@�
6p��
6a��
7yo~
7uk@�
7x��
7a��
8t��
8t�~
8u�k@�
8a��
8a��
9wy~
9ul@�
9x��
9a�:w�
:t�~
:u�l@�
:]��
:q��
;ww~
;um@�
;p��
;r��
<yy~
<u�m@�
<i��
<w��
=t��
=t�~
=un@�
=x��
=a��
>wy~
>u�n@�
>x��
>a�?w�
?[�~
?uo@�
?v��
?a��d
l88f88f88f8888bfb8888b8f8f8b88f8@��ma��mb��mc�md��med�mf��mg�mh��mi<�mj��mkt�ml0�mm��mn��mo��mp��mq` �mrh�ms(�mtl�mu� �mv0�mw@�mxh�my��mz�m[ �m\��m]��m^��m_��m@y�
@[�~
@u�o@�
@x��
@a��
ay��
at�~
aup@�
av��
aa��
bzw~
bu@p@�
bx��
ba��
c{y~
cu�p@�
cx��
ca��
dy��
dt�~
du�p@�
dv��
da��
ezy~
euq@�
ev��
ex�fz�
ft�~
fu@q@�
fx��
fa��
gzw~
gu�q@�
gv��
ga��
hzw~
hu�q@�
hv��
ha��
izy~
iur@�
iv��
ia�j{�
j|�~
ju@r@�
jz��
jq��
kt��
kt�~
ku�r@�
kx��
ka��
lwy~
lu�r@�
lv��
la�mw�
mt�~
mus@�
mx��
ma��
nwy~
nu@s@�
nv��
na�ow�
o^�~
ou�s@�
ox��
oa��
py`~
pu�s@�
px��
pa��
qt��
qt�~
qut@�
qv��
qa��
rww~
ru@t@�
rv��
ra��
sww~
su�t@�
sx��
sa��
twy~
tu�t@�
tx��
t��uy�
u}�~
uuu@�
ux��
ua��
vt��
v~�~
vu@u@�
vx��
va��
ww~
wu�u@�
wx��
wa�xw�
xt�~
xu�u@�
xv��
xa��
yww~
yuv@�
yx��
ya��
zyy~
zu@v@�
zx��
za��
[^��
[t�~
[u�v@�
[x��
[a��
\_w~
\u�v@�
\���
\a��
]_w~
]uw@�
]���
]r��
^_y~
^u@w@�
^v��
^a�__�
_^�~
_u�w@�
_a��
_a��d$
lbf88f8b888bf8b8b8f888bf8b88f888`��ma��mb��mc��nd�me��mfh
�mg�mh�mi��mj��mk �ml�mm��mn��mo�mp��mq �mr|�ms�mt�mu��mvd�mw8�mx�myh
�mz��m{��m�
`__~
`u�w@�
`x��
`a��
a__~
aux@�
ax��
aa��
b__~
bu@x@�
bx��
ba��
c``~
cu�x@�
cx��
ca��
db��
dt�~
du�x@�
dz��
dq��
ecy~
euy@�
ex��
ea��
ft��
ft�~
fu@y@�
fv��
fa��
gwy~
gu�y@�
gx��
ga�hy�
h[�~
hu�y@�
hv��
ha��
it��
i[�~
iuz@�
ix��
ia�jy�
j[~
ju@z@�
jx�
ja�
kb�
kb~
ku�z@�
kv�
kx�
l�c~
lu�z@�
lv�
lam��
mt ~
mu[@�
mv
�
ma�
ncy~
nu@[@�
nv�
na
�
ob�
o^~
ou�[@�
ov�
oa�
p�`~
pu�[@�
pg�
p�qc�
q�~
qu\@�
qv�
qa�
rb�
rb~
ru@\@�
rv�
ra�
s��~
su�\@�
sz�
sq�
t�c~
tu�\@�
tz�
tquc�
u[~
uu]@�
ux�
ut �
v^�
v�!~
vu@]@�
vx"�
va#w_�
wt$~
wu�]@�
wx%�
wa&�
x_y~
xu�]@�
xx'�
xa(y_�
yb)~
yu^@�
yv*�
ya �
z_c~
zu@^@�
zx,�
za-{`�
{�.~
{u�^@�
{z/�
{q0�< 8888f8f8bfbf8b8f8bf88bfb8b8���d���,�( �
�p�l�
��
3�����]f9!d
n�t�l�
��
3�����]f9!d
n�t�l�
��
3�����]f9!d
n>�@d�uda
""""���@
!"$%'(-.5678<=@acdjkpquvz[cdefhijknoqruv{ !"$%'(,/3456789:<=>acdefiklmnopqtvwxz[^_cdefgklmnoprtwxyz�ssss����8��������-l�azl�az-qql�azl�az,wl�azl�az,"l�az-!l�az
l�a�a&b$�uuuu����8��������-l�azl�az-qql�azl�az,xl�az,vl�az,"l�az-!l�az
l�a�a&b$�vvvv����8��������-l�azl�az-
l�azl�az,ll�az,el�az,#l�az-!"l�az
l�a�a&b$� wwww����8��������-l�azl�az-
l�azl�az,ll�az,el�az,#l�az-!"l�az
l�a�a&b$�____��q��8��������-l�azl�azl�azl�azl�azl�azl�azl�az
l�a�a&b$�
{{{{�� ��8��������,{l�az
l�a�a&b$�^z
zzbcx^``qrtt!"rrux����8��������-l�azl�az-qql�azl�az,xl�az,vl�az,"l�az-!l�az
l�a�a&b$�&kqqqkknn����8��������-l�azl�az-qql�azl�az,xl�az,vl�az,"l�az-!l�az
l�a�a&b${ {ss{ {uu{ {vv{ {ww{ {__{ {{{ { {z
{ {kqgg����d
���6^�"k����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������c����e��������������������������������c��������a���������e��������������������������������������������������c����a����e���������������������������a��������������������� �.�a
�������oh�� '��0�hp`l
x�����1gkf��@?%�|�@�{��@�z����wps h�?@abcdefghijklmnopqrstuvwxyz[\]^_`abcdefghijklmnopqrstuvwxyz{|}~������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������